iline光刻机和gline光刻机区别

主要是光刻机光源波长不同。

光刻机按光源波长分类可分五代，分别是13.5纳米的极紫外光光源、193纳米的arf深紫外光、248纳米的krf、365纳米的iline、436纳米的gline等五代。i线是指365nm就是iline，g线是指436nm就是gline，高压汞灯中能量最高的两个谱线。波长越短，光刻分辨率越高。iline和gline光刻机最主要的区别就是光源波长不同。